真空箱式真空高溫爐（又稱高溫真空氣氛箱式爐）是一種集高溫加熱、真空獲得與維持、氣氛控制于一體的熱處理設備，廣泛應用于科研院所、航天航空、電子陶瓷、冶金、新材料等領域。

一、工作原理

系統原理說明

電阻加熱采用硅鉬棒、硅碳棒、鉬絲、鎢絲等發熱元件，電流通過時按焦耳定律（Q=I2Rt）產熱，以熱輻射形式將熱量傳遞給物料

真空獲得機械泵先抽至低真空（約-0.1MPa），選配分子泵/擴散泵可達高真空（10?3Pa）

真空維持爐體多重密封（雙層水冷法蘭+波紋管補償+高溫金屬密封圈），真空計實時監測，真空度下降時自動補抽

氣氛控制雙向可控進氣系統，通入N?、Ar、H?等氣體，配氣體分配裝置和循環風機保證均勻性

智能控溫微電腦PID控制，多段程序溫控（30~50段可編程），控溫精度±1℃

二、核心技術參數（以1200℃~1700℃標準型為例）

參數指標

溫度范圍室溫 ~ 1200℃ / 1400℃ / 1700℃ / 1800℃（可定制）

控溫精度±1℃（PID智能調節）

溫場均勻性±3℃ ~ ±5℃（爐膛中心區）

升溫速率1℃/h ~ 40℃/min（可編程調節）

極限真空機械泵：-0.1MPa；分子泵：≤6.67×10?3Pa（10?3Pa）

可通氣體惰性氣體（N?、Ar）、還原性氣體（H?）、弱氧化性氣體（CO?、O?）

電源220V / 380V

爐體結構雙層鋼板 + 風冷/水冷，外殼溫度 ≤45~60℃

爐膛材質高純氧化鋁多晶纖維 / 碳化硅 / 氧化鋁陶瓷纖維板

加熱元件硅鉬棒（1700℃+）、硅碳棒（≤1400℃）、鐵鉻鋁電阻絲

三、主要結構組成

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│  控制柜（PLC+觸摸屏+PID）     │

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│  爐殼（雙層鋼板，水冷/風冷）   │

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│  │ 爐襯（多層陶瓷纖維保溫）│  │

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│  │ │ 加熱元件         │   │  │

│  │ │ （硅鉬棒/碳棒）   │   │  │

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│  │ │  │ 工作腔     │   │   │  │

│  │ │  │（放樣品）  │   │   │  │

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│  密封：硅膠/氟橡膠圈 + 水冷  │

│  接口：抽真空口、進氣口、     │

│        出氣口、測壓口、熱電偶 │

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四、安全保護系統

保護功能說明

?? 超溫報警溫度超過設定值自動切斷加熱

?? 斷偶保護熱電偶斷開時自動停機

?? 過流/過壓保護雙回路可控硅整流控制

?? 漏電保護爐體與控制器可靠接地

?? 氫氣專用自動點火、防爆閥、氣體泄漏報警（通H?時必配）

?? 氧含量監測選配ZrO?傳感器在線監測